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特种气体与混合气体

特种气体:硅烷、氨气、一氧化二氨、氯化氢、溴化氢、硒化氢、三氯化硼、六氟化硫、四氟甲烷、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟化氮、三氟化磷、四氟化硅、五氟化磷、二氯硅烷、锗烷;
混合气体:氢气和氮气混合物、稀有气体混合物、稀有气体和氧气混合物、稀有气体和氮气混合物、二氧化碳和氧气混合物、二氧化碳和环氧乙烷混合物、一氧化碳和氢气混合物。